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【ISOM】播放专用蓝光光盘“向27GB挺进！”

DATE	2003/11/11

　　【日经BP社报道】在日本奈良举行的“ISOM '03”国际光盘会议上，有关单面单层记录容量27GB的播放专用蓝光光盘母盘制作的测试结果接连不断。此前主要进行的是23.3GB和25GB光盘的测试，而目前已正式开始探讨实现27GB的可能性。

　　此次发表研究成果的是分别是荷兰飞利浦研究实验室、JVC、先锋以及日立万胜和三菱化学媒体组成的联合研究小组。

　　飞利浦发表的是采用该公司提出的“液体浸透（Liquid Immersion）技术”进行母盘制作的测试结果（演讲序号：Th-I-02）。该技术采用波长257nm的深紫外线激光器和开口数（NA）为0.9的物镜，属于深紫外线（Deep UV）技术的一种，但其特点是通过在物镜和母盘之间的间隙注入水，将实际NA提高到了1.2。27GB光盘的播放信号抖动最低为6.8%。为了刻出形状准确的凹坑，曝光时采取了可进行激光功率控制的刻录方法。此次还对31GB光盘进行了测试，此时虽然抖动急剧加大，不过据称通过采用维特比（Viterbi）还原器，依然能够将比特误码率（Bit Error Rate）控制到实用范围之内。倾角容许范围（Tilt Margin）也和25GB光盘相差不多。

　　JVC以及日立万胜及三菱化学媒体的研究小组也采用了深紫外线技术。

　　JVC的光学系统由波长266nm的深紫外线激光器和NA为0.9的物镜组成（演讲序号：Th-I-04）。激光束的焦点由深紫外线激光器直接控制。与在刻录用深紫外线激光器之外另备红色激光进行聚焦控制的普通方式相比，该方法据说可以更精密地进行调整。对在玻璃底板上形成的27GB刻录图案进行播放后得到的结果是，抖动为8.2%。刻录方法采用了只在刻写2T mark时才提高光功率的“2T增强法”，并且还调整了脉冲宽度。

　　日立万胜和三菱化学媒体的研究小组采用将激光束分成主激光束和副激光束的“光学干扰消除器（Optical Interference Canceller）技术”，进行了母盘制作（演讲序号：Fr-PO-03）。主激光束用于绘制图案，子激光束则用于均衡因绘制的刻录标记密度而变化的光学干扰。27GB光盘的播放抖动为8.1%。抖动大的原因估计在于播放系统。激光器的波长为257nm，物镜NA为0.9。

　　先锋使用电子束曝光设备进行了母盘制作（演讲编号：Th-I-07）。通过采用干蚀刻工艺，改善了模片（Stamper）的平坦性，从而将27GB光盘的抖动由此前的7.5%降低到了6.8%。并且通过采取刻录方法，进一步降低到了5.7%。包括其他公司在内，上述抖动值均是采用限制均衡器之后得到的数值。（记者：新井将之）

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