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【CCD&AIS】首次采用铜布线的CMOS传感器 入射角增至1.5倍

DATE 2005/06/13


　　【日经BP社报道】 由IBM和伊士曼柯达(Eastman Kodak)两家美国公司组成的研究小组日前试制成功了一种新型光圈，可提高摄像元件倾斜入射角的感光度。与原来相比，即使广角增至1.5倍也可获得相同的感光度。2005年6月9日于日本长野县举行的摄像元件相关学会“2005 IEEE Workshop on Charge-Coupled Devices and Advanced Image Sensors（CCD&AIS）”发表了这一技术。

　　入射角的增大是通过在摄像元件上“业界首次”（IBM）采用铜布线来减薄金属层而实现的。金属层变薄后，可防止芯片内光路变短、光线无法射入指定二极管的“黑框(Kerare)”等问题。一般情况下，减薄金属层后布线的电阻就会上升，不过，通过使用电阻比铝低的铜便可解决这一问题。

　　摄像元件（采用铜布线）的金属层加上紧贴在下面的BPSG(石英玻璃，Silica Glass)的总厚度为2.1μm。由于铝布线厚度为3.6μm，所以减薄了42%。研究小组在实验中采用了像素间距为2.7μm的CMOS型摄像元件。该构造采用1层多结晶硅层和4层金属层，其中，有1层金属层未用于驱动像素。（记者：大槻 智洋）

■日文原文
【CCD&AIS】業界初のCu配線で入射角1.5倍に，IBM社らのCMOSセンサ

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