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【SID】以MEMS开关驱动有机EL面板，旨在打破Si TFT制约

DATE	2008/05/26

　　【日经BP社报道】

用MEMS开关驱动有机EL

　　韩国科学技术院（KAIST）在“SID 2008”的研讨会上宣布，将使用MEMS开关代替驱动有机EL的TFT。此举旨在打破以往使用的Si TFT在大屏幕制做和可靠性方面存在的制约。

　　现在通常使用Si TFT对有机EL进行驱动。然而目前作为主流的低温多晶Si TFT在对再结晶工序中使用的激光退火装置的大画面支持方面还存在问题。此外，最近不断被提出的非晶硅和微晶硅的TFT则存在着其阈值电压会随时间变化而变化的问题。为了解决这些问题，KAIST此次提出了MEMS开关技术。MEMS开关是通过脉冲宽度调制的数字驱动来使有机EL工作的。

　　此次KAIST试制了50μm×10μm的MEMS开关。将该开关与有机EL元件连接并进行驱动，证实了数字灰度显示的可能性。获得的结果是：在电压VDD为10V、脉冲频率为60Hz的条件下，最大辉度为1781cd/m²，功率比为50%的辉度为914cd/m²，功率比为5%的辉度为98.27cd/m²。（记者：田中直树）

试制的MEMS开关

此次的MEMS开关的制造方法

证实了基于脉冲宽度调制的数字灰度显示的可行性

■日文原文
【SID】MEMSスイッチで有機ELパネルを駆動，Si TFTの限界打破を狙う――韓国KAISTが開発

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